Beschichtungen
Eine Vielzahl von galvanischen Beschichtungsmethoden sind bei der Bearbeitung von unterschiedlichen Forschungsprojekten entwickelt worden. In erster Linie handelt es sich dabei um Beschichtungen von Cu(In, Ga) Se2 und CdTe auf verschiedenen Substraten, die sich zur Herstellung von Dünnschichtsolarzellen eignen.
Daneben steht eine kommerziell erhältliche Si-Nitrid-Beschichtungsanlage zur Verfügung, mit der sich individuelle Schichtsysteme auf Si-Solarzellen in Kleinserien erzeugen lassen.
Eine Besonderheit ist die Atomlagenabscheidung von Al2O3. Die neuartige Anwendung dieses Verfahren auf Siliciumsolarzellen ermöglicht die Abscheidung hervorragend passivierender Oberflächenvergütungsschichten auf p+-dotierten Emitterbereichen.
Verschieden Vakuumaufdampfanlagen stehen zur Verfügung. Es stehen thermische Verdampfung und Verdampfung durch Elektronenstrahl zur Auswahl. Es können folgende Metalle: Aluminium, Titan, Palladium, Silber, Nickel, Gold, Kupfer verdampftwerden.
Dielektrika: SiO2, SiNx.
Verschiedene Vakuum AC/DC-Sputterkammern stehen zur Verfügung. Alle sputter-fähigen Materialien können gesputtert werden: Metalle: Kupfer, Nickel, Titan, Indium, Kupfer-Gallium, Tantal, Wolfram, Silber, Silicium. Von diesen Materialien können durch reaktives Sputtern Oxide, Nitride und Carbide abgeschieden werden.Dielektrika: SiO2, SiNx, ZnO, ZnO:Al, SnO2, Al2O3.
